掃描電鏡實驗報告圖像分析

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本文目錄:

• 1、利用掃描電鏡分析時二次電子與被散射的區(qū)別。

• 2、利用掃描電鏡分析時二次電子與被散射的區(qū)別。

• 3、掃描電鏡實驗時,圖像上出現(xiàn)的白色亮點和白色亮塊狀是什么，怎么消除

• 4、掃描電鏡的原理

一、利用掃描電鏡分析時二次電子與被散射的區(qū)別。

1.

二次電子像（不嚴格地俗稱“形貌像”）

二次電子是由于被入射電子“碰撞”而獲得能量，逃出樣品表面的核外電子，其主要特點是：

(1)能量小于

50eV

，較易被檢測器前端的電場吸引，因而陰影效應較弱。

(2)只有樣品表面很淺（約10nm）的部分激發(fā)出的二次電子才能逃出樣品表面,因此二次電子像分辨率較高；

(3)二次電子的產(chǎn)額主要取決于樣品表面局部斜率，因此二次電子像主要是形貌像?？煽闯捎稍S多不同傾斜程度的面構(gòu)成的凸尖、臺階、凹坑等細節(jié)組成，這些細節(jié)的不同部位發(fā)射的二次電子數(shù)不同，從而產(chǎn)生襯度。二次電子像分辨率高、無明顯陰影效應、場深大、立體感強，是掃描電鏡的主要成像方式，特別適用于粗糙樣品表面的形貌觀察。

2.

背散射電子像（不嚴格地俗稱“成份像”或“原子序數(shù)像”）

背散射電子是由樣品“反射”出來的入射電子，其主要特點是：

(1)能量高，從50eV到接近入射電子的能量。

(2)穿透能力比二次電子強得多，可從樣品中較深的區(qū)域逸出(微米級)，在這樣的深度范圍，入射電子已有相當寬的側(cè)向擴展，因此在樣品中產(chǎn)生的范圍大，圖像分辨率較低；

(3)

背散射電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)增大而明顯增加，即樣品平均原子序數(shù)Z大的部位產(chǎn)生較強的背散射電子信號，在熒光屏上形成較亮的區(qū)域；而平均原子序數(shù)較低的部位則產(chǎn)生較少的背散射電子，在熒光屏上形成較暗的區(qū)域，這樣就形成原子序數(shù)襯度（成分襯度）。與二次電子像相比，背散射像的分辨率要低，主要應用于樣品表面不同成分分布情況的觀察，比如有機無機混合物、合金等。

但嚴格說，背散射電子也帶有形貌信息，尤其是，由于能量高，背散射電子可以認為是直線行進，因而有明顯的陰影效應，對于形貌起伏較大的樣品表面，立體感甚至優(yōu)于二次電子像。只有樣品表面較平整，甚至是拋光后的樣品才能將背散射像等同于成份像。

同樣地，二次電子也帶有成分信息，只是遠沒有背散射電子明顯而已。

二、利用掃描電鏡分析時二次電子與被散射的區(qū)別。

1、分辨率不同

二次電子的分辨率高，因而可以得到層次清晰，細節(jié)清楚的圖像，被散射電子是在一個較大的作用體積內(nèi)被入射電子激發(fā)出來的，成像單元較大，因而分辨率較二次電子像低。

2、運動軌跡不同

（1）被散射電子以直線逸出，因而樣品背部的電子無法被檢測到，成一片陰影，襯度較大，無法分析細節(jié)，但可以用來顯示原子序數(shù)襯度，進行定性成分分析 。二次電子對試樣表面狀態(tài)非常敏感，能有效地顯示試樣表面的微觀形貌。

（2）利用二次電子作形貌分析時，可以利用在檢測器收集光柵上加上正電壓來吸收較低能量的二次電子，使樣品背部及凹坑等處逸出的電子以弧線狀運動軌跡被吸收，因而使圖像層次增加，細節(jié)清晰。

3、能量不同

（1）二次電子是指當入射電子和樣品中原子的價電子發(fā)生非彈性散射作用時會損失其部分能量  (約 30～50 電子伏特)，這部分能量激發(fā)核外電子脫離原子，能量大于材料逸出功的價電子可從樣品表面逸出，變成真空中的自由電子。

（2）被散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子。既包括與樣品中原子核作用而形成的彈性背散射電子，又包括與樣品中核外電子作用而形成的非彈性散射電子，所以被散射電子能量較高。

擴展資料：

應用范圍

⑴生物：種子、花粉、細菌等

⑵醫(yī)學：血球、病毒等

⑶動物：大腸、絨毛、細胞、纖維等

⑷材料：陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環(huán)氧樹脂等

⑸化學、物理、地質(zhì)、冶金、礦物、污泥（桿菌） 、機械、電機及導電性樣品，如半導體(IC、線寬量測、斷面、結(jié)構(gòu)觀察……）電子材料等。

參考資料來源：百度百科--掃描電子顯微鏡

三、掃描電鏡實驗時,圖像上出現(xiàn)的白色亮點和白色亮塊狀是什么，怎么消除

原因是你的樣品導電性不好，在電子束的照射下產(chǎn)生了放電。如果你對放大倍數(shù)要求不高，可以在樣品表面進行噴金或者噴碳處理，來提高樣品的導電性能，這樣可以消除放電。

四、掃描電鏡的原理

掃描電鏡原理：所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。

在電子掃描中,把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描,把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。

兩者的掃描速度完全不同,行掃描的速度比幀掃描的速度快,對于1000條線的掃描圖象來說,速度比為1000。

掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器,它廣泛應用于觀察各種固態(tài)物質(zhì)的表面超微結(jié)構(gòu)的形態(tài)和組成。

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