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sem掃描電鏡倍率

發(fā)布時間：2023-04-13 23:03:51 稿源：創(chuàng)意嶺閱讀： 58

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本文目錄:

1、sem掃描電鏡的原理及操作,sem掃描電鏡的原理制樣
2、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思
3、掃描電鏡SEM/EDX測試的井深是多少？
4、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思

sem掃描電鏡倍率

一、sem掃描電鏡的原理及操作,sem掃描電鏡的原理制樣

1.sem掃描電鏡的原理是依據(jù)電子和物質(zhì)的相互作用，掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。

2.通過對這些信息的接收、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

3.sem是一種電子顯微鏡，中文名為掃描電子顯微鏡，通過用聚焦電子束掃描樣品的表面而產(chǎn)生樣品表面的圖像。

4.它由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成，應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。

5.掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

6.掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)。

7.有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

8.試樣制備簡單。

9.目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。

二、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思

1、放大率：

與普通光學(xué)顯微鏡不同，在SEM中，是通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到。

所以，SEM中，透鏡與放大率無關(guān)。

2、場深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會焦而成象。這一小層的厚度稱為場深，通常為幾納米厚，所以，SEM可以用于納米級樣品的三維成像。

3、作用體積：

電子束不僅僅與樣品表層原子發(fā)生作用，它實(shí)際上與一定厚度范圍內(nèi)的樣品原子發(fā)生作用，所以存在一個作用“體積”。

4、工作距離：

工作距離指從物鏡到樣品最高點(diǎn)的垂直距離。

如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。如果減少工作距離，則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。

5、成象：

次級電子和背散射電子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次級電子。

6、表面分析：

歐革電子、特征X射線、背散射電子的產(chǎn)生過程均與樣品原子性質(zhì)有關(guān)，所以可以用于成分分析。但由于電子束只能穿透樣品表面很淺的一層（參見作用體積），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射線分析最常用，所用到的探測器有兩種：能譜分析儀與波譜分析儀。前者速度快但精度不高，后者非常精確，可以檢測到“痕跡元素”的存在但耗時太長。

觀察方法：

如果圖像是規(guī)則的（具螺旋對稱的活體高分子物質(zhì)或結(jié)晶），則將電鏡像放在光衍射計(jì)上可容易地觀察圖像的平行周期性。

尤其用光過濾法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，將其他部分遮蔽使重新衍射，則會得到背景干擾少的鮮明圖像。

擴(kuò)展資料：

SEM掃描電鏡圖的分析方法：

從干擾嚴(yán)重的電鏡照片中找出真實(shí)圖像的方法。在電鏡照片中，有時因?yàn)楸尘案蓴_嚴(yán)重，只用肉眼觀察不能判斷出目的物的圖像。

圖像與其衍射像之間存在著數(shù)學(xué)的傅立葉變換關(guān)系，所以將電鏡像用光度計(jì)掃描，使各點(diǎn)的濃淡數(shù)值化，將之進(jìn)行傅立葉變換，便可求出衍射像〔衍射斑的強(qiáng)度（振幅的2乘）和其相位〕。

將其相位與從電子衍射或X射線衍射強(qiáng)度所得的振幅組合起來進(jìn)行傅立葉變換，則會得到更鮮明的圖像。此法對屬于活體膜之一的紫膜等一些由二維結(jié)晶所成的材料特別適用。

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

參考資料：百度百科-掃描電子顯微鏡

三、掃描電鏡SEM/EDX測試的井深是多少？

````

應(yīng)該是景深吧``

焦深計(jì)算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中：

L: 焦深

r: 顯像管最小分辨距離

M：放大倍數(shù)

d：入射電子束直徑

2α：物鏡孔徑角。

從上面的式子可以看出影響焦深的因素，其中隱含了工作距離w。物鏡孔徑角與工作距離和入射電子束直徑有關(guān)。由于r（顯像管的分辨率）和2α都是未知數(shù)，實(shí)際上不能計(jì)算。焦深也只是個人的視覺感受，還是直觀的測量一下為好。

又查了資料``顯像管最小分辨距離為0.22mm-0.3mm, 孔徑角的典型數(shù)值為10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以計(jì)算出在有效放大倍率下的焦深數(shù)據(jù)。設(shè)d=3納米，孔徑角2α=10-2 rad，r=0.3mm。計(jì)算焦深如下：

1000倍下為59.4微米。5000倍下為11.4微米。10000倍下為5.4微米。超過100000倍已經(jīng)超過了有效放大倍率。不能計(jì)算。

四、SEM掃描電鏡圖怎么看，圖上各參數(shù)都代表什么意思

可以從掃描電鏡圖中看到納米管的結(jié)構(gòu)，我之前做二氧化鈦納米管，用掃描電鏡可以直接看到

。

掃描電鏡中的的參數(shù)，分別有：放大倍數(shù)，長度標(biāo)尺，工作電壓和工作距離。

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